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索 引 号:014149607/2018-00135

发布机构:苏州市经济和信息化委员会

名    称:对市政协十四届二次会议第429号提案的答复

文    号:苏经信办发〔2018〕56号

分    类:综合政务;本单位各类业务文件;议案

发文日期:2018年5月29日

主 题 词:

 

内容概述:对市政协十四届二次会议第429号提案的答复

时    效:

对市政协十四届二次会议第429号提案的答复

苏经信办发〔2018〕56号

 

徐科委员,您好:

  首先感谢您一直关心苏州第三代半导体产业的发展。基于您提出的《关于苏州要紧盯蓝海—氮化镓半导体技术和产业的建议》,我们进行认真讨论研究,并征求了苏州市科技局的意见,现对您提出的建议回复如下:

  以氮化镓为代表的第三代半导体产业随着半导体照明产业的快速发展越来越显示出发展前景,并将带来超过万亿的产业规模。在第三代半导体氮化镓领域,苏州集聚了全国该领域 70%以上“千人计划”人才,在氮化镓衬底材料制备技术方面全国领先,集聚了一批代表性企业。目前,苏州工业园区已经出台专门针对氮化镓产业的《关于推进氮化镓产业发展实施细则》,牵头成立“苏州工业园区氮化镓产业研究院”,努力突破上游关键技术的研发和产业化,吸引中下游企业集聚。昆山高新区的能讯高能半导体采用IDM模式,覆盖材料、设计、研发、生产和封测等各环节,率先在国内开展了氮化镓高能效功率半导体材料与器件的研发与产业化。张家港市设立中科院苏州纳米所张家港研究院,推动以氮化镓为代表的化合物半导体产业。吴江汾湖高新区引进江苏华功半导体有限公司和英诺赛科有限公司,目标形成一个以氮化镓为主、百亿级规模的化合物半导体材料产业园区。

  对于苏州来说,发展第三代半导体产业,建设形成GaN产业研究及产业化基地,是优化产业布局、调整产业结构、发展战略性新兴产业的重要举措,市委市政府高度重视以GaN为代表的第三代半导体产业的发展。

  一、明确第三代半导体产业为集成电路产业发展的重点方向

  今年初,苏州制定《苏州市集成电路产业发展规划(2018-2020)》,明确将以氮化镓为代表的第三代半导体产业发展列入重点发展方向,重点突破氮化镓产业上游关键技术的研发和产业化,聚焦异质和同质GaN材料、微波器件和电力电子器件,大力引进GaN产业中下游企业,力争形成苏州特色和先发优势。

  二、建设了一批重大科技创新载体和平台

  氮化镓产业属于高端制造业,起点高,投资大,因此必须建立大型科技公共服务平台支撑产业发展。目前,围绕我市氮化镓产业已建成一批重要平台。(1)纳米科技真空互联综合试验装置NANO-X。该载体是世界首个按国家重大科技基础设施标准在建的集材料生长、器件加工、测试分析为一体的纳米领域真空互联的科技公共开放试验平台。目前纳米真空互联实验站已到位中科院、江苏省、苏州市及工业园区共计2.7亿元筹建经费。(2)中科院苏州纳米所加工平台是一个可为SiC大功率器件、微纳电子、光电子器件、微纳机电系统、各种传感器和生物芯片等研发提供设备资源支撑服务、委托开发、联合研发、人才培训和技术咨询等功能的大型研发公共服务平台。(3)中科院苏州纳米所测试分析平台。测试分析平台各类大中型设备总计对外服务机时约22630小时,测试服务应收745万元,同比增长20%。(4)微纳机电制造(MEMS)中试平台是一个完全工业级别的中试线,已成功研发的产品包含硅麦克风、温度传感器、压力传感器、微镜传感器、微流体传感器等产品。

  三、大力开展氮化镓产业技术研究

  去年,按照一区域一重点产业的要求,大力支持工业园区氮化镓产业的技术创新。共设立新型氮化镓基功率器件先进建模方法研究、2~4英寸高导电率氮化镓单晶衬底研发与量产技术的研发及产业化、基于GaN功率集成技术的智能光伏组件老化检测及故障诊断、基于碱性矿化剂作用下的高质量氮化镓氨热生长、第三代半导体氮化镓微波功率芯片与器件量产项目等项目研究。

  接下来,我们继续加强以氮化镓为代表的第三代半导体产业技术研究,争取形成自主知识产权,重点引进重大产业化项目,推进苏州第三代半导体产业发展。我们相信,通过企业、政府、社会各个层面的共同努力,苏州以氮化镓为代表的第三代半导体产业的发展必将走在全省、乃至全国的前列。请您继续关注我市以氮化镓为代表第三代半导体产业的发展。

  联系人:刘子印

  联系电话:68616206